シリサイド系半導体の科学と技術 : 資源・環境時代の新しい半導体と関連物質

• Material Type: 図書
• ISBN: 978-4-7853-2920-4
• Title: シリサイド系半導体の科学と技術 : 資源・環境時代の新しい半導体と関連物質
• Title Transcription: シリサイドケイ ハンドウタイ ノ カガク ト ギジュツ : シゲン カンキョウ ジダイ ノ アタラシイ ハンドウタイ ト カンレン ブッシツ
• Author/Editor: 前田佳均 編著
• Author Heading: 前田, 佳均, 1959- マエダ, ヨシヒト, 1959- ( 001184361 )Authorities
• Publication, Distribution, etc.: 東京 : 裳華房
• Publication Date: 2014.9
• Publication Date (W3CDTF): 2014
• Extent: 324p
• Size: 22cm
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• Subject Heading: 半導体 ハンドウタイ ( 00562913 )Authorities
• NDC 9th ed.: 428.8 : Physical properties of matter
• NDLC: MC151
• Target Audience: 一般
• Note (Bibliography): 索引あり
• Price: 5000円
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: MC151-L2
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 025785956; http://id.ndl.go.jp/bib/025785956
• National Bibliography No. (JPNO): 22477639
• TOHAN MARC No.: 33158791
• Cataloging Rule: Nippon Cataloguing Rules 1987 Revised Edition
• Bibliographic Record Category (NDL): 111

• Summary, etc.: シリサイド系半導体の物性と応用技術を解説(Provided by: 出版情報登録センター（JPRO）)
• Author introduction: 前田 佳均 九州工業大学教授、博士（工学）。1959年生まれ。京都大学工学部卒業、京都大学大学院工学研究科修了。（株）日立製作所、大阪府立大学講師・助教授、英国サリー大学客員研究員、京都大学助教授・准教授などを経て現職。専門は半導体物性工学、ナノ構造光物性。(Provided by: 出版情報登録セ...

Table of Contents

1．シリサイド系半導体の基礎

2．結晶成長技術

3．薄膜形成技術

4．構造解析

5．鉄シリサイドの物性