Fabrication technology for monolithic integration of film bulk acoustic wave resonator on CMOS circuit

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: Fabrication technology for monolithic integration of film bulk acoustic wave resonator on CMOS circuit
• 著者・編者: Abhay Kochhar [著]
• 著者標目: Kochhar Abhay コウチャール アブヘイ
• 出版事項: [Abhay Kochhar]
• 出版年月日等: [2013]
• 出版年（W3CDTF）: 2013
• 数量: 1冊
• 並列タイトル等: 薄膜バルク音響波共振子のCMOS回路上へのモノリシック集積化のための加工技術 ハクマク バルク オンキョウハ キョウシンシ ノ CMOS カイロジョウ エ ノ モノリシック シュウセキカ ノ タメ ノ カコウ ギジュツ
• 授与機関名: 東北大学
• 授与年月日: 平成25年9月25日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2013
• 報告番号: 甲第15464号
• 学位: 博士(工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: eng
• 著者別名: Abhay Saranswarup Kochhar
• NDLC: UT51
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2014-B742
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 025857274; http://id.ndl.go.jp/bib/025857274
• 整理区分コード: 213