Fabrication technology for monolithic integration of film bulk acoustic wave resonator on CMOS circuit

• Material Type: 博士論文
• Title: Fabrication technology for monolithic integration of film bulk acoustic wave resonator on CMOS circuit
• Author/Editor: Abhay Kochhar [著]
• Author Heading: Kochhar Abhay コウチャール アブヘイ
• Publication, Distribution, etc.: [Abhay Kochhar]
• Publication Date: [2013]
• Publication Date (W3CDTF): 2013
• Extent: 1冊
• Alternative Title: 薄膜バルク音響波共振子のCMOS回路上へのモノリシック集積化のための加工技術 ハクマク バルク オンキョウハ キョウシンシ ノ CMOS カイロジョウ エ ノ モノリシック シュウセキカ ノ タメ ノ カコウ ギジュツ
• Degree grantor/type: 東北大学
• Date Granted: 平成25年9月25日
• Date Granted (W3CDTF): 2013
• Dissertation Number: 甲第15464号
• Degree Type: 博士(工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: eng
• Alias of Author: Abhay Saranswarup Kochhar
• NDLC: UT51
• Target Audience: 一般
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2014-B742
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 025857274; http://id.ndl.go.jp/bib/025857274
• Bibliographic Record Category (NDL): 213