博士論文

微細化に向けた低抵抗・高信頼性Cu配線形成の為のバリアメタル成膜技術に関する研究

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微細化に向けた低抵抗・高信頼性Cu配線形成の為のバリアメタル成膜技術に関する研究

国立国会図書館請求記号
UT51-2014-C25
国立国会図書館書誌ID
025873239
資料種別
博士論文
著者
本山幸一 [著]
出版者
[本山幸一]
出版年
[2014]
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
授与大学名・学位
東北大学,博士(工学)
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資料種別
博士論文
タイトルよみ
ビサイカ ニ ムケタ テイテイコウ コウシンライセイ Cu ハイセン ケイセイ ノ タメ ノ バリア メタル セイマク ギジュツ ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
本山幸一 [著]
著者標目
本山, 幸一 モトヤマ, コウイチ
出版事項
出版年月日等
[2014]
出版年(W3CDTF)
2014
数量
1冊
授与機関名
東北大学