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Instrumentation, metrology, and standards for nanomanufacturing, optics, and semiconductors VIII : 20 August 2014 : San Diego, California, United States : Aug 2014, San Diego, CA. (SPIE Proceedings ; 9173)

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Instrumentation, metrology, and standards for nanomanufacturing, optics, and semiconductors VIII : 20 August 2014 : San Diego, California, United States : Aug 2014, San Diego, CA.

(SPIE Proceedings ; 9173)

国立国会図書館請求記号
M17-15-47
国立国会図書館書誌ID
025940859
資料種別
図書
著者
Postek, Michael T.ほか
出版者
SPIE
出版年
[2014]
資料形態
ページ数・大きさ等
1 volume (various pagings) ; 28 cm.
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

Papers.

形態の詳細:

illustrations (black and white)

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書誌情報

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資料種別
図書
ISBN
9781628412000
1628412003
ISSN(シリーズ)
0277-786X
シリーズタイトル
出版年月日等
[2014]
出版年(W3CDTF)
2014
数量
1 volume (various pagings)