Laser applications in microelectronic and optoelectronic manufacturing (LAMOM) XX : 9-12 February 2015 : San Francisco, California, United States.

• 資料種別: 図書
• ISBN: 9781628414400; 1628414405
• ISSN（シリーズ）: 0277-786X
• タイトル: Laser applications in microelectronic and optoelectronic manufacturing (LAMOM) XX : 9-12 February 2015 : San Francisco, California, United States.
• シリーズタイトル: SPIE Proceedings ; 9350
• タイトル標目: Proceedings of SPIE--the International Society for Optical Engineering ; 9350.
• 著者標目: Roth, Stephan.; Nakata, Yoshiki.; Neuenschwander, Beat.; Xu, Xianfan.
• 出版事項: Bellingham, Washington, USA : SPIE (出版)
• 出版年月日等: [2015]
• 出版年（W3CDTF）: 2015
• 数量: 1 volume (various pagings)
• 形態の詳細: illustrations
• 大きさ: 28 cm.
• 並列タイトル等: Laser applications in microelectronic and optoelectronic manufacturing (LAMOM) 20 : 9-12 February 2015 : San Francisco, California, United States; SPIE. photonics west
• その他のタイトル: meeting on laser applications in microelectronic and optoelectronic manufacturing : LAMOM-20 : laser applications in microelectronic and optoelectronic manufacturing (LAMOM) 20 conference : Feb 2015, San Francisco, CA.
• 出版地（国名コード）: US
• 本文の言語コード: eng
• ジャンル・形式用語: Conference proceedings.
• 表現種別: text
• 機器種別: unmediated
• キャリア種別: volume
• 件名標目: Microelectronics--Congresses.; Photonics--Congresses.; Photons--Congresses.
• NDLC: M17
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: Papers.
• 書誌注記: Includes bibliographical references and author index.
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: M17-15-2442
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 026368238; http://id.ndl.go.jp/bib/026368238
• 目録規則: RDA
• 整理区分コード: 215