Handbook of silicon based MEMS materials and technologies

• 資料種別: 図書
• ISBN: 0323299652; 9780323299657
• タイトル: Handbook of silicon based MEMS materials and technologies
• 著者・編者: edited by Markku Tilli [and five others].
• 版: Second edition.
• シリーズタイトル: Micro & nano technologies series
• タイトル標目: Micro & nano technologies.
• 著者標目: Tilli, Markku.
• 出版事項: London, UK : William Andrew (出版)
• 出版年月日等: 2015.
• 出版年（W3CDTF）: 2015
• 数量: xxxvii, 787 pages
• 形態の詳細: illustrations
• 大きさ: 29 cm.
• 出版地（国名コード）: GB
• 本文の言語コード: eng
• 表現種別: text
• 機器種別: unmediated
• キャリア種別: volume
• 件名標目: Microelectromechanical systems.; Microelectromechanical systems--Materials.; Silicon--Electric properties.
• LCC: TK7875.H36 2015
• NDLC: ND416
• 対象利用者: 一般
• 書誌注記: Includes bibliographical references and index.
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: ND416-B81
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 026427416; http://id.ndl.go.jp/bib/026427416
• OCLC番号: 921939919; https://www.worldcat.org/oclc/921939919
• 目録規則: RDA
• 整理区分コード: 211