China semiconductor technology international conference 2013 (CSTIC 2013) : symposia of CSTIC 2013 : Mar 2013, Shanghai, China. (ECS Transactions ; 52 (no. 1))

China semiconductor technology international conference 2013 (CSTIC 2013) : symposia of CSTIC 2013 : Mar 2013, Shanghai, China.

(ECS Transactions ; 52 (no. 1))

国立国会図書館請求記号: M17-15-2666
国立国会図書館書誌ID: 026517875

資料種別: 図書

著者: Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI)

出版者: The Electrochemical Society

出版年: [2013]

資料形態: 紙

ページ数・大きさ等: xxii, 1115 pages ; 23 cm.

NDC: -

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資料に関する注記

一般注記：: Selected papers."CSTIC is the largest and the most comprehensive annual industrial semiconductor technology conference in China."--Preface."These pape...

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書誌情報

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紙

資料種別: 図書
ISBN: 9781623320300 (Softcover)
ISSN（シリーズ）: 1938-5862
タイトル: China semiconductor technology international conference 2013 (CSTIC 2013) : symposia of CSTIC 2013 : Mar 2013, Shanghai, China.
シリーズタイトル: ECS Transactions ; 52 (no. 1)
著者標目: Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI)
出版事項: Pennington, NJ, USA : The Electrochemical Society (出版)
出版年月日等: [2013]
出版年（W3CDTF）: 2013
数量: xxii, 1115 pages
大きさ: 23 cm.
並列タイトル等: Dielectric and semiconductor materials, devices, and processing
出版地（国名コード）: US
本文の言語コード: eng
表現種別: text
機器種別: unmediated
キャリア種別: volume
NDLC: M17
対象利用者: 一般
一般注記: Selected papers.
"CSTIC is the largest and the most comprehensive annual industrial semiconductor technology conference in China."--Preface.
"These papers are divided into eleven (11) sections according to the eleven symposia of CSTIC 2013."--Preface.
書誌注記: Includes bibliographical references and author index.
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: M17-15-2666
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 026517875
http://id.ndl.go.jp/bib/026517875
目録規則: RDA
整理区分コード: 215