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書誌情報
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- 資料種別
- 電子資料
- ISSN
- 2187-7637
- タイトルよみ
- The 13th International Symposium on Sputtering & Plasma Processes ISSP 2015
- 著者・編者
- editor Takeo Nakano
- 著者標目
- 中野, 武雄, 応用物理学 ナカノ, タケオ, オウヨウ ブツリガク ( 001208860 )典拠
- 出版年月日等
- 2015.7
- 出版年（W3CDTF）
- 2015
- 数量
- CD-ROM 1枚