ICPT 2014 : proceedings of international conference on planarization/CMP technology 2014 : November 19-21, 2014 : Kobe International Conference Center : Kobe, Japan : 11th ICPT2014 : Nov 2014, Kobe, Japan.

• 資料種別: 図書
• ISBN: 9781479955565; 1479955566
• タイトル: ICPT 2014 : proceedings of international conference on planarization/CMP technology 2014 : November 19-21, 2014 : Kobe International Conference Center : Kobe, Japan : 11th ICPT2014 : Nov 2014, Kobe, Japan.
• 著者標目: International Conference on Planarization/CMP Technology (11th : 2014 : Kōbe-shi, Japan); Japan Society of Precision Engineering. Japan Planarization and CMP Technical Committee.
• 出版事項: [Piscataway, N.J.] : IEEE (出版)
• 出版年月日等: [2014]; 著作権日付 : ©2014
• 出版年（W3CDTF）: 2014
• 数量: 355 pages
• 形態の詳細: illustrations
• 大きさ: 27 cm
• 並列タイトル等: 2014 ICPT : international conference on planarization/CMP technology : proceedings : date Nov. 19-21, 2014 : venue Kobe International Conference Center, Kobe, Japan
• 出版地（国名コード）: US
• 本文の言語コード: eng
• ジャンル・形式用語: Conference papers and proceedings.
• 表現種別: text
• 機器種別: unmediated
• キャリア種別: volume
• 件名標目: Chemical mechanical planarization--Congresses.; Chemical mechanical planarization.
• NDLC: M17
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: Abstracts and papers.; IEEE catalog number CFP1463Z-PRT.
• 書誌注記: Includes bibliographical references.
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: M17-15-3218
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 026717055; http://id.ndl.go.jp/bib/026717055
• 目録規則: RDA
• 整理区分コード: 215