書店で探す
書店で探す
書誌情報
この資料の詳細や典拠（同じ主題の資料を指すキーワード、著者名）等を確認できます。
- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- シリコン ウェーハ ウェット エッチング ギジュツ ノ サンジゲン セキソウ ハンドウタイ プロセス エ ノ テキヨウ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 吉川和博 [著]
- 著者標目
- 吉川, 和博 ヨシカワ, カズヒロ
- 出版事項
- 出版年月日等
- [2014]
- 出版年（W3CDTF）
- 2014
- 数量
- 1冊
- 並列タイトル等
- A study on wet chemical silicon wafer etching technology for three-dimensional integrated circuit process