これからのMEMS : LSIとの融合

• 資料種別: 図書
• ISBN: 978-4-627-77551-0
• タイトル: これからのMEMS : LSIとの融合
• タイトルよみ: コレカラ ノ メムス : エルエスアイ トノ ユウゴウ
• 著者・編者: 江刺正喜, 小野崇人 共著
• 著者標目: 江刺, 正喜, 1949- エサシ, マサヨシ, 1949- ( 00154561 )典拠; 小野, 崇人, 1967- オノ, タカヒト, 1967- ( 001238556 )典拠
• 出版事項: 東京 : 森北出版
• 出版年月日等: 2016.6
• 出版年（W3CDTF）: 2016
• 数量: 151p
• 大きさ: 22cm
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: マイクロマシン マイクロマシン ( 00577044 )典拠
• NDC9版: 530 : 機械工学
• NDLC: NB21
• 対象利用者: 一般
• 書誌注記: 文献あり 索引あり
• 入手条件・定価: 2600円
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: NB21-L43
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 027342496; http://id.ndl.go.jp/bib/027342496
• 全国書誌番号: 22762358
• トーハンMARC番号: 33458252
• 目録規則: 日本目録規則1987年版改訂版
• 整理区分コード: 111

• 要約等: MEMS研究の世界的権威である著者が初めて解説し，大きな反響を呼んだ『はじめてのMEMS』に続く待望の続編．（提供元: 出版情報登録センター（JPRO））
• 著者紹介: 江刺 正喜 東北大学 教授 工学博士小野 崇人 東北大学 教授 博（工）（提供元: 出版情報登録センター（JPRO））

目次

第1章　ヘテロ集積化（MEMSとLSIの融合）

第2章　次世代携帯機器

第3章　センサネットワーク・高機能センサ

第4章　光マイクロシステム

第5章　バイオ・医療用マイクロシステム