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これからのMEMS : LSIとの融合

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これからのMEMS : LSIとの融合

Call No. (NDL)
NB21-L43
Bibliographic ID of National Diet Library
027342496
Material type
図書
Author
江刺正喜, 小野崇人 共著
Publisher
森北出版
Publication date
2016.6
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
151p ; 22cm
NDC
530
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Detailed bibliographic record

Summary, etc.:

MEMS研究の世界的権威である著者が初めて解説し,大きな反響を呼んだ『はじめてのMEMS』に続く待望の続編.(Provided by: 出版情報登録センター(JPRO))

Author introduction:

江刺 正喜 東北大学 教授 工学博士小野 崇人 東北大学 教授 博(工)(Provided by: 出版情報登録センター(JPRO))

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Table of Contents

Provided by:出版情報登録センター(JPRO)Link to Help Page
  • 第1章 ヘテロ集積化(MEMSとLSIの融合)

  • 第2章 次世代携帯機器

  • 第3章 センサネットワーク・高機能センサ

  • 第4章 光マイクロシステム

  • 第5章 バイオ・医療用マイクロシステム

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    Paper
    Call No.:
    530/エサシ
    Book Registration Number:
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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
ISBN
978-4-627-77551-0
Title Transcription
コレカラ ノ メムス : エルエスアイ トノ ユウゴウ
Author/Editor
江刺正喜, 小野崇人 共著
Author Heading
江刺, 正喜, 1949- エサシ, マサヨシ, 1949- ( 00154561 )Authorities
小野, 崇人, 1967- オノ, タカヒト, 1967- ( 001238556 )Authorities
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
2016.6
Publication Date (W3CDTF)
2016
Extent
151p