プラズマプロセス技術 : ナノ材料作製・加工のためのアトムテクノロジー

• 資料種別: 図書
• ISBN: 978-4-627-77561-9
• タイトル: プラズマプロセス技術 : ナノ材料作製・加工のためのアトムテクノロジー
• タイトルよみ: プラズマ プロセス ギジュツ : ナノ ザイリョウ サクセイ カコウ ノ タメ ノ アトム テクノロジー
• 著者・編者: プラズマ・核融合学会 編
• 著者標目: プラズマ核融合学会 プラズマ カク ユウゴウ ガッカイ ( 00297710 )典拠
• 出版事項: 東京 : 森北出版
• 出版年月日等: 2017.1
• 出版年（W3CDTF）: 2017
• 数量: 273p
• 大きさ: 22cm
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: 工業材料 コウギョウザイリョウ ( 00566211 )典拠; プラズマ プラズマ ( 00569207 )典拠; ナノテクノロジー ナノテクノロジー ( 00907854 )典拠
• NDC9版: 501.4 : 工業基礎学
• NDLC: M213
• 対象利用者: 一般
• 書誌注記: 索引あり
• 入手条件・定価: 5600円
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: M213-L165
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 027845805; http://id.ndl.go.jp/bib/027845805
• 全国書誌番号: 22850011
• トーハンMARC番号: 33555625
• 目録規則: 日本目録規則1987年版改訂版
• 整理区分コード: 111

• 要約等: ナノ・アトムテクノロジーへの広がりを背景に，プラズマプロセス技術を基礎から応用まで解説．最先端の技術的指針を与える．（提供元: 出版情報登録センター（JPRO））

目次

第1章　プラズマ技術の基礎

第2章　プラズマナノプロセスの物理的基礎

第3章　プラズマ気相反応とナノ表面反応の基礎

第4章　ナノエッチング技術

第5章　ナノ材料の基板成長と構造制御