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プラズマプロセス技術 : ナノ材料作製・加工のためのアトムテクノロジー

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プラズマプロセス技術 : ナノ材料作製・加工のためのアトムテクノロジー

Call No. (NDL)
M213-L165
Bibliographic ID of National Diet Library
027845805
Material type
図書
Author
プラズマ・核融合学会 編
Publisher
森北出版
Publication date
2017.1
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
273p ; 22cm
NDC
501.4
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Detailed bibliographic record

Summary, etc.：

ナノ・アトムテクノロジーへの広がりを背景に，プラズマプロセス技術を基礎から応用まで解説．最先端の技術的指針を与える．(Provided by: 出版情報登録センター（JPRO）)

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Table of Contents

Provided by：出版情報登録センター（JPRO）

  • 第1章　プラズマ技術の基礎

  • 第2章　プラズマナノプロセスの物理的基礎

  • 第3章　プラズマ気相反応とナノ表面反応の基礎

  • 第4章　ナノエッチング技術

  • 第5章　ナノ材料の基板成長と構造制御

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  • 青森県立図書館

    Paper
    Call No.：
    501.4-ﾌﾟﾗｽﾞﾏﾌﾟﾛ
    Book Registration Number：
    10214873939
    青森県立図書館

Kanto

  • 石川県立図書館

    Paper
    Call No.：
    501.4/ﾌﾗ ﾌ
    Book Registration Number：
    100076645
    石川県立図書館

  • 福井県立図書館

    Paper
    Call No.：
    501.4/ﾌﾗｽ
    Book Registration Number：
    1016479998
    福井県立図書館

  • 岐阜県図書館

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    Call No.：
    501.4-プ
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    8134760890
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    Call No.：
    501.4-ﾌﾗ-1133174
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    1111331740
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    5014//
    Book Registration Number：
    0210876827
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    501.4-ﾌﾟ
    Book Registration Number：
    117018754
    三重県立図書館

  • 鳥取県立図書館

    Paper
    Call No.：
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    鳥取県立図書館

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    Call No.：
    501.4/ﾌﾗ17/
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    0013873237
    岡山県立図書館

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
ISBN
978-4-627-77561-9
Title
プラズマプロセス技術 : ナノ材料作製・加工のためのアトムテクノロジー
Title Transcription
プラズマ プロセス ギジュツ : ナノ ザイリョウ サクセイ カコウ ノ タメ ノ アトム テクノロジー
Author/Editor
プラズマ・核融合学会 編
Author Heading
プラズマ核融合学会 プラズマ カク ユウゴウ ガッカイ ( 00297710 )Authorities
Publication, Distribution, etc.
東京 : 森北出版
Publication Date
2017.1
Publication Date (W3CDTF)
2017
Extent
273p
Size
22cm
Place of Publication (Country Code)
JP
Text Language Code
jpn
Subject Heading
工業材料 コウギョウザイリョウ ( 00566211 )Authorities
プラズマ プラズマ ( 00569207 )Authorities
ナノテクノロジー ナノテクノロジー ( 00907854 )Authorities
NDC 9th ed.
501.4 : Basic engineering
NDLC
M213
Target Audience
一般
Note (Bibliography)
索引あり
Price
5600円
Holding library
国立国会図書館
Call No.
M213-L165
Data Provider (Database)
国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL)
027845805
http://id.ndl.go.jp/bib/027845805
National Bibliography No. (JPNO)
22850011
TOHAN MARC No.
33555625
Cataloging Rule
Nippon Cataloguing Rules 1987 Revised Edition
Bibliographic Record Category (NDL)
111
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