プラズマプロセス技術 : ナノ材料作製・加工のためのアトムテクノロジー
プラズマプロセス技術 : ナノ材料作製・加工のためのアトムテクノロジー
- Call No. (NDL)
- M213-L165
- Bibliographic ID of National Diet Library
- 027845805
Detailed bibliographic record
Summary, etc.：
- ナノ・アトムテクノロジーへの広がりを背景に，プラズマプロセス技術を基礎から応用まで解説．最先端の技術的指針を与える．(Provided by: 出版情報登録センター（JPRO）)
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Table of Contents
第1章 プラズマ技術の基礎
第2章 プラズマナノプロセスの物理的基礎
第3章 プラズマ気相反応とナノ表面反応の基礎
第4章 ナノエッチング技術
第5章 ナノ材料の基板成長と構造制御
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青森県立図書館
Paper- Call No.：
- 501.4-ﾌﾟﾗｽﾞﾏﾌﾟﾛ
- Book Registration Number：
- 10214873939
Kanto
千葉県立西部図書館
Paper- Call No.：
- 5014/ 181/
- Book Registration Number：
- 1102466367
東京都立中央図書館
Paper- Call No.：
- 501.4-5285-2017
- Book Registration Number：
- 7108556220
神奈川県立川崎図書館
Paper- Call No.：
- 427.6-43
- Book Registration Number：
- 81677122
横浜市立図書館
Paper- Call No.：
- 427.6
- Book Registration Number：
- 2058158901
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 図書
- ISBN
- 978-4-627-77561-9
- Title Transcription
- プラズマ プロセス ギジュツ : ナノ ザイリョウ サクセイ カコウ ノ タメ ノ アトム テクノロジー
- Author/Editor
- プラズマ・核融合学会 編
- Author Heading
- プラズマ核融合学会 プラズマ カク ユウゴウ ガッカイ ( 00297710 )Authorities
- Publication, Distribution, etc.
- Publication Date
- 2017.1
- Publication Date (W3CDTF)
- 2017
- Extent
- 273p