Silicon wet bulk micromachining for MEMS

• 資料種別: 図書
• ISBN: 981461372X; 9789814613729
• タイトル: Silicon wet bulk micromachining for MEMS
• 著者・編者: Prem Pal, Kasuo Sato.
• 著者標目: Pal, Prem.; 佐藤, 一雄, 1948- サトウ, カズオ, 1948- ( 00865926 )典拠
• 出版事項: Singapore : Pan Stanford Publishing (出版)
• 出版年月日等: [2017]; 著作権日付 : ©2017
• 出版年（W3CDTF）: 2017
• 数量: xii, 412 pages
• 形態の詳細: illustrations (some color)
• 大きさ: 24 cm
• 出版地（国名コード）: SG
• 本文の言語コード: eng
• 表現種別: text
• 機器種別: unmediated
• キャリア種別: volume
• 件名標目: Microelectromechanical systems.; Micromachining.
• LCC: TK7875
• NDLC: ND371
• 対象利用者: 一般
• 書誌注記: Includes bibliographical references and index.
• コレクション（個別）: 日本関係外国語図書
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: ND371-B108
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 028013870; http://id.ndl.go.jp/bib/028013870
• OCLC番号: 953886622; https://www.worldcat.org/oclc/953886622
• 目録規則: RDA
• 整理区分コード: 211