Review超高真空技術の新展開 : 数式による解析から真空回路・分子流ネットワークへ

• 資料種別: 図書
• ISBN: 978-4-86043-479-3
• タイトル: Review超高真空技術の新展開 : 数式による解析から真空回路・分子流ネットワークへ
• タイトルよみ: レビュー チョウコウシンクウ ギジュツ ノ シンテンカイ : スウシキ ニ ヨル カイセキ カラ シンクウ カイロ ブンシリュウ ネットワーク エ
• 著者・編者: 吉村長光 著
• 著者標目: 吉村, 長光 ヨシムラ, ナガミツ ( 00940001 )典拠
• 出版事項: 東京 : エヌ・ティー・エス
• 出版年月日等: 2017.4
• 出版年（W3CDTF）: 2017
• 数量: 318p
• 大きさ: 26cm
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: 真空工学 シンクウコウガク ( 00571070 )典拠
• NDC10版: 534.93 : 流体機械．流体工学
• NDLC: NB126
• NDC（参考図書紹介）: 534.93
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: 奥付・背のタイトル: レビュー超高真空技術の新展開
• 入手条件・定価: 35000円
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: NB126-L5
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 028081431; http://id.ndl.go.jp/bib/028081431
• 全国書誌番号: 22907670
• トーハンMARC番号: 33592028
• 目録規則: 日本目録規則1987年版改訂版
• 整理区分コード: 111

目次

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キーワード

第1章 チャンバー壁面のガス放出機能と真空ポンプの排気機能との類似性/ 1

はじめに/ 2

1-1 チャンバー壁面のガス放出機能と真空ポンプの排気機能との類似性/ 2