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Review超高真空技術の新展開 : 数式による解析から真空回路・分子流ネットワークへ

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Review超高真空技術の新展開 : 数式による解析から真空回路・分子流ネットワークへ

Call No. (NDL)
NB126-L5
Bibliographic ID of National Diet Library
028081431
Material type
図書
Author
吉村長光 著
Publisher
エヌ・ティー・エス
Publication date
2017.4
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
318p ; 26cm
NDC
534.93
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Note (General):

奥付・背のタイトル: レビュー超高真空技術の新展開

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Table of Contents

  • 目次

  • キーワード

  • 第1章 チャンバー壁面のガス放出機能と真空ポンプの排気機能との類似性/ 1

  • はじめに/ 2

  • 1-1 チャンバー壁面のガス放出機能と真空ポンプの排気機能との類似性/ 2

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Paper

Material Type
図書
ISBN
978-4-86043-479-3
Title Transcription
レビュー チョウコウシンクウ ギジュツ ノ シンテンカイ : スウシキ ニ ヨル カイセキ カラ シンクウ カイロ ブンシリュウ ネットワーク エ
Author/Editor
吉村長光 著
Author Heading
吉村, 長光 ヨシムラ, ナガミツ ( 00940001 )Authorities
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
2017.4
Publication Date (W3CDTF)
2017
Extent
318p