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半導体製造装置用材料として期待されているセラミックス 第3回 (エンジニアリングセラミックスセミナー : テキスト ; 第47回)

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半導体製造装置用材料として期待されているセラミックス. 第3回

(エンジニアリングセラミックスセミナー : テキスト ; 第47回)

国立国会図書館請求記号
PA235-L49
国立国会図書館書誌ID
028184979
資料種別
図書
著者
日本セラミックス協会エンジニアリングセラミックス部会 編
出版者
日本セラミックス協会
出版年
2015.12
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
22p ; 30cm
NDC
573
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資料に関する注記

一般注記：

会期・会場: 2015年12月16日 東京工業大学田町キャンパスキャンパス・イノベーションセンター国際会議室

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書誌情報

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紙

資料種別
図書
タイトル
半導体製造装置用材料として期待されているセラミックス
タイトルよみ
ハンドウタイ セイゾウ ソウチヨウ ザイリョウ ト シテ キタイサレテイル セラミックス
巻次・部編番号
第3回
著者・編者
日本セラミックス協会エンジニアリングセラミックス部会 編
シリーズタイトル
エンジニアリングセラミックスセミナー : テキスト ; 第47回
著者標目
日本セラミックス協会 ニホン セラミックス キョウカイ ( 00264651 )典拠
出版事項
東京 : 日本セラミックス協会
出版年月日等
2015.12
出版年（W3CDTF）
2015