半導体製造装置用材料として期待されているセラミックス第3回 (エンジニアリングセラミックスセミナー : テキスト ; 第47回)

半導体製造装置用材料として期待されているセラミックス. 第3回

(エンジニアリングセラミックスセミナー : テキスト ; 第47回)

Call No. (NDL): PA235-L49
Bibliographic ID of National Diet Library: 028184979

Material type: 図書

Author: 日本セラミックス協会エンジニアリングセラミックス部会編

Publisher: 日本セラミックス協会

Publication date: 2015.12

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 22p ; 30cm

NDC: 573

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Note (General)：: 会期・会場: 2015年12月16日東京工業大学田町キャンパスキャンパス・イノベーションセンター国際会議室

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Paper

Material Type: 図書
Title: 半導体製造装置用材料として期待されているセラミックス
Title Transcription: ハンドウタイセイゾウソウチヨウザイリョウトシテキタイサレテイルセラミックス
Volume: 第3回
Author/Editor: 日本セラミックス協会エンジニアリングセラミックス部会編
Series Title: エンジニアリングセラミックスセミナー : テキスト ; 第47回
Author Heading: 日本セラミックス協会ニホンセラミックスキョウカイ ( 00264651 )Authorities
Publication, Distribution, etc.: 東京 : 日本セラミックス協会
Publication Date: 2015.12
Publication Date (W3CDTF): 2015
Extent: 22p
Size: 30cm
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: セラミックス--会議録セラミックスカイギロク ( 00718352 )Authorities
半導体記憶装置--会議録ハンドウタイキオクソウチカイギロク ( 001269190 )Authorities
NDC 10th ed.: 573 : Ceramic technology
NDLC: PA235
Target Audience: 一般
Note (General): 会期・会場: 2015年12月16日東京工業大学田町キャンパスキャンパス・イノベーションセンター国際会議室
Price: 6000円 (税込)
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: PA235-L49
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 028184979
http://id.ndl.go.jp/bib/028184979
National Bibliography No. (JPNO): 22928998
Cataloging Rule: Nippon Cataloguing Rules 1987 Revised Edition
Bibliographic Record Category (NDL): 111