Handbook of silicon wafer cleaning technology

• 資料種別: 図書
• ISBN: 9780323510844 (paperback); 0323510841 (paperback); 9780323510851 (electronic bk.); 032351085X (electronic bk.)
• タイトル: Handbook of silicon wafer cleaning technology
• 著者・編者: edited by Karen A. Reinhardt, Werner Kern.
• 版: Third edition.
• 著者標目: Reinhardt, Karen A.; Kern, Werner, 1925-
• 出版事項: Oxford, United Kingdom : William Andrew (出版)
• 出版年月日等: [2018]; 著作権日付 : ©2018
• 出版年（W3CDTF）: 2018
• 数量: xviii, 773 pages
• 大きさ: 23 cm
• 出版地（国名コード）: GB
• 本文の言語コード: eng
• 表現種別: text
• 機器種別: unmediated
• キャリア種別: volume
• 件名標目: Silicon-on-insulator technology.; TECHNOLOGY & ENGINEERING / Mechanical.
• LCC: TK7871.85
• DDC: 621.3815/2
• NDLC: ND371
• 対象利用者: 一般
• 書誌注記: Includes bibliographical references and index.
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: ND371-B120
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 028206833; http://id.ndl.go.jp/bib/028206833
• 目録規則: RDA
• 整理区分コード: 211

• 内容細目: Front Cover; Handbook of Silicon Wafer Cleaning Technology; Handbook of Silicon Wafer Cleaning Technology; Copyright; Contents; List of Contributors; ...
• 要約等: Handbook of Silicon Wafer Cleaning Technology, Third Edition, provides an in-depth discussion of cleaning, etching and surface conditioning for semico...