2016 14th international Baltic conference on atomic layer deposition (BALD 2016) : St. Petersburg, Russia : 2-4 October 2016 : Baltic ALD 2016 : Oct 2016, St. Petersburg, Russia.

• 資料種別: 図書
• ISBN: 9781509034178 (Print-On-Demand)
• タイトル: 2016 14th international Baltic conference on atomic layer deposition (BALD 2016) : St. Petersburg, Russia : 2-4 October 2016 : Baltic ALD 2016 : Oct 2016, St. Petersburg, Russia.
• 著者標目: International Baltic Conference on Atomic Layer Deposition (14th : 2016 : Saint Petersburg, Russia); Drozd, V. E.; Egorov, N. V. (Nikolay V.); Nikiforov, K. A.
• 出版事項: Piscataway, NJ : IEEE (出版)
• 出版年月日等: [2016]; 著作権日付 : ©2016
• 出版年（W3CDTF）: 2016
• 数量: 71 pages
• 形態の詳細: illustrations
• 大きさ: 28 cm
• 出版地（国名コード）: US
• 本文の言語コード: eng
• ジャンル・形式用語: Conference papers and proceedings.
• 表現種別: text
• 機器種別: unmediated
• キャリア種別: volume
• 件名標目: Atomic layer deposition--Congresses.; Atomic layer deposition.
• LCC: TS695
• NDLC: M17
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: Papers.; IEEE catalog number CFP16H65-POD.
• 資料の内容に関する注記: Annotation
• 書誌注記: Includes bibliographical references and author index.
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: M17-18-1838
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 028500919; http://id.ndl.go.jp/bib/028500919
• 目録規則: RDA
• 整理区分コード: 215