Micro electro mechanical systems

• 資料種別: 図書
• ISBN: 9789811059445 (print)
• ISBN（エラーコード）: 9789811059452 (electronic bk.); 9789811059469 (print and electronic bundle)
• タイトル: Micro electro mechanical systems
• 著者・編者: Qing-An Huang, editor.
• シリーズタイトル: Springer reference; Micro/nano technologies
• シリーズ著者・編者: Springer
• 著者標目: Huang, Qing-An, 1963-
• 出版事項: Singapore : Springer (出版)
• 出版年月日等: [2018]
• 出版年（W3CDTF）: 2018
• 数量: 2 volumes
• 大きさ: 25 cm.
• 出版地（国名コード）: SG
• 本文の言語コード: eng
• 表現種別: text
• 機器種別: unmediated
• キャリア種別: volume
• デジタル・ファイルの特性: ファイル種別 : text file; デジタル・コンテンツ・フォーマット : PDF
• 件名標目: Microelectromechanical systems.; Engineering.; Mechatronics.; Nanotechnology and Microengineering.; Electronics and Microelectronics, Instrumentation.; Microwaves, RF and Optical Engineering.
• LCC: TK7875
• DDC: 621.381
• NDLC: NB21
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: Includes index.
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: NB21-B23
• 関連情報（DOI）: 10.1007/978-981-10-5945-2
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 028801834; http://id.ndl.go.jp/bib/028801834
• 目録規則: RDA
• 整理区分コード: 211

• 要約等: This handbook volume aims to provide a comprehensive, self-contained, and authoritative reference in MEMS. It covers the theoretical and practical asp...