本文に飛ぶ
博士論文

低誘電率高多層構造を用いたマイクロデバイスの研究

博士論文を表すアイコン

低誘電率高多層構造を用いたマイクロデバイスの研究

国立国会図書館請求記号
UT51-2018-A364
国立国会図書館書誌ID
029036920
資料種別
博士論文
著者
鈴木洋一朗 [著]
出版者
[鈴木洋一朗]
出版年
[2017]
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
授与大学名・学位
東北大学,博士(工学)
すべて見る

資料に関する注記

一般注記:

博士論文

書店で探す

書誌情報

この資料の詳細や典拠(同じ主題の資料を指すキーワード、著者名)等を確認できます。

資料種別
博士論文
タイトルよみ
テイユウデンリツ コウタソウ コウゾウ オ モチイタ マイクロ デバイス ノ ケンキュウ
著者・編者
鈴木洋一朗 [著]
著者標目
鈴木, 洋一朗 スズキ, ヨウイチロウ
出版事項
出版年月日等
[2017]
出版年(W3CDTF)
2017
数量
1冊
並列タイトル等
Study of micro device applying low permittivity multilayer structure