Study about the degradation mechanism of the magnetic tunnel junctions (MTJs) during the patterning process and its recovery by using the oxygen showering post-treatment (OSP) process

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: Study about the degradation mechanism of the magnetic tunnel junctions (MTJs) during the patterning process and its recovery by using the oxygen showering post-treatment (OSP) process
• 著者・編者: Junho Jeong [著]
• 著者標目: Junho Jeong ジュノ チョン
• 出版事項: [Junho Jeong]
• 出版年月日等: [2017]
• 出版年（W3CDTF）: 2017
• 数量: 1冊
• 並列タイトル等: 磁気トンネル接合素子の微細加工プロセスダメージ現象の解析と酸化後処理によるその回復技術に関する研究 ジキ トンネル セツゴウ ソシ ノ ビサイ カコウ プロセス ダメージ ゲンショウ ノ カイセキ ト サンカ アトショリ ニ ヨル ソノ カイフク ギジュツ ニ カンスル ケンキュウ
• 授与機関名: 東北大学
• 授与年月日: 平成29年3月24日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2017
• 報告番号: 甲第17552号
• 学位: 博士(工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: eng
• NDLC: UT51
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2018-A372
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 029037628; http://id.ndl.go.jp/bib/029037628
• 整理区分コード: 213