Study about the degradation mechanism of the magnetic tunnel junctions (MTJs) during the patterning process and its recovery by using the oxygen showering post-treatment (OSP) process

• Material Type: 博士論文
• Title: Study about the degradation mechanism of the magnetic tunnel junctions (MTJs) during the patterning process and its recovery by using the oxygen showering post-treatment (OSP) process
• Author/Editor: Junho Jeong [著]
• Author Heading: Junho Jeong ジュノ チョン
• Publication, Distribution, etc.: [Junho Jeong]
• Publication Date: [2017]
• Publication Date (W3CDTF): 2017
• Extent: 1冊
• Alternative Title: 磁気トンネル接合素子の微細加工プロセスダメージ現象の解析と酸化後処理によるその回復技術に関する研究 ジキ トンネル セツゴウ ソシ ノ ビサイ カコウ プロセス ダメージ ゲンショウ ノ カイセキ ト サンカ アトショリ ニ ヨル ソノ カイフク ギジュツ ニ カンスル ケンキュウ
• Degree grantor/type: 東北大学
• Date Granted: 平成29年3月24日
• Date Granted (W3CDTF): 2017
• Dissertation Number: 甲第17552号
• Degree Type: 博士(工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: eng
• NDLC: UT51
• Target Audience: 一般
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2018-A372
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 029037628; http://id.ndl.go.jp/bib/029037628
• Bibliographic Record Category (NDL): 213