博士論文

Nanometer-resolved fluidity of diacrylate monomers between silica surfaces for sub-15 nm ultraviolet nanoimprinting

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Nanometer-resolved fluidity of diacrylate monomers between silica surfaces for sub-15 nm ultraviolet nanoimprinting

国立国会図書館請求記号
UT51-2018-A380
国立国会図書館書誌ID
029042224
資料種別
博士論文
著者
Shunya Ito [著]
出版者
[Shunya Ito]
出版年
[2017]
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
授与大学名・学位
東北大学,博士(工学)
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博士論文

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書誌情報

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資料種別
博士論文
著者・編者
Shunya Ito [著]
著者標目
伊藤, 駿也 イトウ, シュンヤ
出版事項
出版年月日等
[2017]
出版年(W3CDTF)
2017
数量
1冊
並列タイトル等
サブ15nm光ナノインプリント成形に向けた重合性モノマーのシリカナノ空間での流動性 サブ 15nm ヒカリ ナノインプリント セイケイ ニ ムケタ ジュウゴウセイ モノマー ノ シリカ ナノ クウカン デ ノ リュウドウセイ
授与機関名
東北大学