Preparation of Ti-, Ta- and Zr-based oxide films by laser chemical vapor deposition

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: Preparation of Ti-, Ta- and Zr-based oxide films by laser chemical vapor deposition
• 著者・編者: Jianchao Chen [著]
• 著者標目: 陳, 建超 チン, ケンチョウ
• 出版事項: [Jianchao Chen]
• 出版年月日等: [2017]
• 出版年（W3CDTF）: 2017
• 数量: 1冊
• 並列タイトル等: レーザー化学気相析出法によるTi, Ta, Zr基酸化物膜の合成 レーザー カガク キソウ セキシュツホウ ニ ヨル Ti , Ta , Zrキ サンカブツマク ノ ゴウセイ
• 授与機関名: 東北大学
• 授与年月日: 平成29年3月24日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2017
• 報告番号: 甲第17589号
• 学位: 博士(工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: eng
• NDLC: UT51
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2018-A391
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 029042541; http://id.ndl.go.jp/bib/029042541
• 整理区分コード: 213