Preparation of Ti-, Ta- and Zr-based oxide films by laser chemical vapor deposition

• Material Type: 博士論文
• Title: Preparation of Ti-, Ta- and Zr-based oxide films by laser chemical vapor deposition
• Author/Editor: Jianchao Chen [著]
• Author Heading: 陳, 建超 チン, ケンチョウ
• Publication, Distribution, etc.: [Jianchao Chen]
• Publication Date: [2017]
• Publication Date (W3CDTF): 2017
• Extent: 1冊
• Alternative Title: レーザー化学気相析出法によるTi, Ta, Zr基酸化物膜の合成 レーザー カガク キソウ セキシュツホウ ニ ヨル Ti , Ta , Zrキ サンカブツマク ノ ゴウセイ
• Degree grantor/type: 東北大学
• Date Granted: 平成29年3月24日
• Date Granted (W3CDTF): 2017
• Dissertation Number: 甲第17589号
• Degree Type: 博士(工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: eng
• NDLC: UT51
• Target Audience: 一般
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2018-A391
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 029042541; http://id.ndl.go.jp/bib/029042541
• Bibliographic Record Category (NDL): 213