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レジスト材料・プロセスの使い方ノウハウとトラブル解決

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レジスト材料・プロセスの使い方ノウハウとトラブル解決

国立国会図書館請求記号
PA441-L160
国立国会図書館書誌ID
029102830
資料種別
図書
著者
河合晃 著
出版者
R&D支援センター
出版年
2018.3
資料形態
ページ数・大きさ等
185p ; 26cm
NDC
578.4
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目次

  • 目次

  • 第1章 レジスト材料/ 9

  • 1.1 高分子集合体/ 9

  • 1.1.1 はじめに/ 9

  • 1.1.2 表面エネルギーとサイズ効果/ 9

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関東

書誌情報

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資料種別
図書
ISBN
978-4-905507-25-3
タイトルよみ
レジスト ザイリョウ ・ プロセス ノ ツカイカタ ノウハウ ト トラブル カイケツ
著者・編者
河合晃 著
著者標目
河合, 晃 カワイ, アキラ ( 01226447 )典拠
出版年月日等
2018.3
出版年(W3CDTF)
2018
数量
185p