Optical metrology and inspection for industrial applications V : 11-13 October 2018 : Beijing, China.

• 資料種別: 図書
• ISBN: 9781510622364 (paperback)
• ISSN（シリーズ）: 0277-786X
• タイトル: Optical metrology and inspection for industrial applications V : 11-13 October 2018 : Beijing, China.
• シリーズタイトル: SPIE Proceedings ; 10819
• タイトル標目: Proceedings of SPIE--the International Society for Optical Engineering ; v. 10819. 1996-756X
• 著者標目: Optical Metrology and Inspection for Industrial Applications (Conference) (5th : 2018 : Beijing, China); Han, Sen.; Yoshizawa, Tōru, 1939-; Zhang, Song (Optical engineer); Tsinghua University.
• 出版事項: Bellingham, Washington, USA : SPIE (出版)
• 出版年月日等: [2018]
• 出版年（W3CDTF）: 2018
• 数量: 1 volume (various pagings)
• 形態の詳細: illustrations (black and white)
• 大きさ: 28 cm.
• 並列タイトル等: Optical metrology and inspection for industrial applications 5 : 11-13 October 2018 : Beijing, China; SPIE. COS | photonics Asia
• その他のタイトル: conference on optical metrology and inspection for industrial applications 5 : SPIE/COS photonics Asia : Oct 2018, Beijing, China.
• 出版地（国名コード）: US
• 本文の言語コード: eng
• ジャンル・形式用語: Conference papers and proceedings.
• 表現種別: text
• 機器種別: unmediated
• キャリア種別: volume
• 件名標目: Optical detectors--Industrial applications--Congresses.; Optical measurements--Congresses.; Quality control--Optical methods--Congresses.; Interferometry--Industrial applications--Congresses.; Engineering inspection--Congresses.; Engineering inspection.; Interferometry--Industrial applications.; Optical detectors--Industrial applications.; Optical measurements.; Quality control--Optical methods.
• NDLC: M17
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: Papers.
• 書誌注記: Includes bibliographical references and author index.
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: M17-20-310
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 029482720; http://id.ndl.go.jp/bib/029482720
• 目録規則: RDA
• 整理区分コード: 215