Process development of 3-dimensional Bi₄Ti₃O₁₂ capacitors in ferroelectric memory using supercritical fluid

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: Process development of 3-dimensional Bi₄Ti₃O₁₂ capacitors in ferroelectric memory using supercritical fluid
• 著者・編者: Yu Zhao [著]
• 著者標目: 趙, 煜 チョウ, ユウ
• 出版事項: [Yu Zhao]
• 出版年月日等: [2016]
• 出版年（W3CDTF）: 2016
• 数量: 1冊
• 並列タイトル等: 超臨界流体を利用したBi₄Ti₃O₁₂強誘電体メモリ用三次元キャパシタ形成プロセスの開発 チョウリンカイ リュウタイ オ リヨウ シタ Bi₄Ti₃O₁₂ キョウユウデンタイ メモリヨウ サンジゲン キャパシタ ケイセイ プロセス ノ カイハツ
• 授与機関名: 東京大学
• 授与年月日: 平成28年9月16日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2016
• 報告番号: 甲第33199号
• 学位: 博士(工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: eng
• NDLC: UT51
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2018-B42
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 029656374; http://id.ndl.go.jp/bib/029656374
• 整理区分コード: 213