Process development of 3-dimensional Bi₄Ti₃O₁₂ capacitors in ferroelectric memory using supercritical fluid

• Material Type: 博士論文
• Title: Process development of 3-dimensional Bi₄Ti₃O₁₂ capacitors in ferroelectric memory using supercritical fluid
• Author/Editor: Yu Zhao [著]
• Author Heading: 趙, 煜 チョウ, ユウ
• Publication, Distribution, etc.: [Yu Zhao]
• Publication Date: [2016]
• Publication Date (W3CDTF): 2016
• Extent: 1冊
• Alternative Title: 超臨界流体を利用したBi₄Ti₃O₁₂強誘電体メモリ用三次元キャパシタ形成プロセスの開発 チョウリンカイ リュウタイ オ リヨウ シタ Bi₄Ti₃O₁₂ キョウユウデンタイ メモリヨウ サンジゲン キャパシタ ケイセイ プロセス ノ カイハツ
• Degree grantor/type: 東京大学
• Date Granted: 平成28年9月16日
• Date Granted (W3CDTF): 2016
• Dissertation Number: 甲第33199号
• Degree Type: 博士(工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: eng
• NDLC: UT51
• Target Audience: 一般
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2018-B42
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 029656374; http://id.ndl.go.jp/bib/029656374
• Bibliographic Record Category (NDL): 213