Integrated tactile sensors with LSI diaphragm flip-bonded to LTCC via-wafer for robots

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: Integrated tactile sensors with LSI diaphragm flip-bonded to LTCC via-wafer for robots
• 著者・編者: Sho Asano [著]
• 著者標目: 浅野, 翔 アサノ, ショウ
• 出版事項: [Sho Asano]
• 出版年月日等: [2018]
• 出版年（W3CDTF）: 2018
• 数量: 1冊
• 並列タイトル等: LTCCビアウェハにフリップ接合されたLSIダイヤフラムを有するロボット用集積化触覚センサ LTCC ビアウェハ ニ フリップ セツゴウ サレタ LSI ダイヤフラム オ ユウスル ロボットヨウ シュウセキカ ショッカク センサ
• 授与機関名: 東北大学
• 授与年月日: 平成30年3月27日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2018
• 報告番号: 甲第18148号
• 学位: 博士(工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: eng
• NDLC: UT51
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2018-B438
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 029808789; http://id.ndl.go.jp/bib/029808789
• 整理区分コード: 213