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ナノインプリント技術ハンドブック

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ナノインプリント技術ハンドブック = Nanoimprint Technology Handbook

国立国会図書館請求記号
YU7-M480
国立国会図書館書誌ID
030087888
資料種別
図書
著者
応用物理学会・ナノインプリント技術研究会 編
出版者
オーム社
出版年
2019.11
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
781p ; 27cm
NDC
549.8
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資料に関する注記

付属資料：

CD-ROM(1枚 12cm)

資料詳細

要約等：

ナノインプリントの基礎とともに、現状で最新のナノインプリント装置と関連部材、多様なデバイス応用についてわかりやすく執筆。（提供元: 出版情報登録センター（JPRO））

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紙

資料種別
図書
ISBN
978-4-274-22448-5
タイトル
ナノインプリント技術ハンドブック
タイトルよみ
ナノインプリント ギジュツ ハンドブック
著者・編者
応用物理学会・ナノインプリント技術研究会 編
著者標目
応用物理学会 オウヨウ ブツリ ガッカイ ( 00281497 )典拠
出版事項
東京 : オーム社
出版年月日等
2019.11
出版年（W3CDTF）
2019
数量
781p