よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み : ファブから検査まで製造装置を俯瞰する 第3版 (図解入門 : How-nual. Visual Guide Book)
よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み : ファブから検査まで製造装置を俯瞰する
第3版
(図解入門 : How-nual. Visual Guide Book)
- 国立国会図書館請求記号
- ND371-M41
- 国立国会図書館書誌ID
- 030098338
資料詳細
要約等：
- 半導体の製造に不可欠な半導体製造装置の詳細を初心者に分かるように解説した半導体製造装置の入門書です。2019年現在の最新情報を踏まえて改定した最新版解説書です。（提供元: 出版情報登録センター（JPRO））
著者紹介：
- 佐藤淳一 京都大学大学院工学研究科修士課程修了。 1978年、東京電気化学工業株式会社（現、TDK）に入社。1982年、ソニー株式会社に入社。 一貫して、半導体や薄膜デバイス・プロセスの研究開発に従事。この間、半導体先端テクノロジーズ（セリート）創立時に出向、長崎大学工学部非常勤講師などを経験。（提...
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目次
よくわかる 最新半導体製造装置の基本と仕組み[第3版] CONTENTS
はじめに/ 3
第1章 半導体製造装置を取り巻く現状
1-1 ひとつかみに見た半導体製造装置/ 10
1-2 半導体製造装置の市場規模/ 13
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紙- 請求記号：
- 549.8/ｻ/
- 図書登録番号：
- 1310438708
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紙- 請求記号：
- 549.8-ｻﾄｳ*ｼﾞ-2019
- 図書登録番号：
- 10217253302
宮城県図書館
紙- 請求記号：
- 549.8/2019.Z
- 図書登録番号：
- 1011755996
山形県立図書館
紙- 請求記号：
- 549.8-ｻﾄ
- 図書登録番号：
- 109174887
福島県立図書館
紙- 請求記号：
- 549.8-ｻｼ19Z
- 図書登録番号：
- 305427130
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- 資料種別
- 図書
- ISBN
- 978-4-7980-6037-8
- タイトルよみ
- ヨク ワカル サイシン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ノ キホン ト シクミ : ファブ カラ ケンサ マデ セイゾウ ソウチ オ フカン スル
- 著者・編者
- 佐藤淳一 著
- 版
- 第3版
- 著者標目
- 佐藤, 淳一, 1954- サトウ, ジュンイチ, 1954- ( 01187810 )典拠
- 出版事項
- 出版年月日等
- 2019.12