よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み : ファブから検査まで製造装置を俯瞰する

• 資料種別: 図書
• ISBN: 978-4-7980-6037-8
• タイトル: よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み : ファブから検査まで製造装置を俯瞰する
• タイトルよみ: ヨク ワカル サイシン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ノ キホン ト シクミ : ファブ カラ ケンサ マデ セイゾウ ソウチ オ フカン スル
• 著者・編者: 佐藤淳一 著
• 版: 第3版
• シリーズタイトル: 図解入門 : How-nual. Visual Guide Book
• 著者標目: 佐藤, 淳一, 1954- サトウ, ジュンイチ, 1954- ( 01187810 )典拠
• 出版事項: 東京 : 秀和システム
• 出版年月日等: 2019.12
• 出版年（W3CDTF）: 2019
• 数量: 261p
• 大きさ: 21cm
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: 半導体製造装置 ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ( 001237257 )典拠
• NDC10版: 549.8 : 電子工学
• NDLC: ND371
• NDC（参考図書紹介）: 549.8
• 対象利用者: 一般
• 書誌注記: 文献あり 索引あり
• 入手条件・定価: 2000円
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: ND371-M41
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 030098338; http://id.ndl.go.jp/bib/030098338
• 全国書誌番号: 23316326
• トーハンMARC番号: 34007636
• 目録規則: 日本目録規則1987年版改訂版
• 整理区分コード: 111

• 要約等: 半導体の製造に不可欠な半導体製造装置の詳細を初心者に分かるように解説した半導体製造装置の入門書です。2019年現在の最新情報を踏まえて改定した最新版解説書です。（提供元: 出版情報登録センター（JPRO））
• 著者紹介: 佐藤淳一 京都大学大学院工学研究科修士課程修了。 1978年、東京電気化学工業株式会社（現、TDK）に入社。1982年、ソニー株式会社に入社。 一貫して、半導体や薄膜デバイス・プロセスの研究開発に従事。この間、半導体先端テクノロジーズ（セリート）創立時に出向、長崎大学工学部非常勤講師などを経験。（提...

目次

よくわかる 最新半導体製造装置の基本と仕組み[第3版] CONTENTS

はじめに/ 3

第1章 半導体製造装置を取り巻く現状

1-1 ひとつかみに見た半導体製造装置/ 10

1-2 半導体製造装置の市場規模/ 13