よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み : ファブから検査まで製造装置を俯瞰する

• Material Type: 図書
• ISBN: 978-4-7980-6037-8
• Title: よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み : ファブから検査まで製造装置を俯瞰する
• Title Transcription: ヨク ワカル サイシン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ノ キホン ト シクミ : ファブ カラ ケンサ マデ セイゾウ ソウチ オ フカン スル
• Author/Editor: 佐藤淳一 著
• Edition: 第3版
• Series Title: 図解入門 : How-nual. Visual Guide Book
• Author Heading: 佐藤, 淳一, 1954- サトウ, ジュンイチ, 1954- ( 01187810 )Authorities
• Publication, Distribution, etc.: 東京 : 秀和システム
• Publication Date: 2019.12
• Publication Date (W3CDTF): 2019
• Extent: 261p
• Size: 21cm
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• Subject Heading: 半導体製造装置 ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ( 001237257 )Authorities
• NDC 10th ed.: 549.8 : Electronic engineering
• NDLC: ND371
• NDC (Introduction of Reference Books): 549.8
• Target Audience: 一般
• Note (Bibliography): 文献あり 索引あり
• Price: 2000円
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: ND371-M41
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 030098338; http://id.ndl.go.jp/bib/030098338
• National Bibliography No. (JPNO): 23316326
• TOHAN MARC No.: 34007636
• Cataloging Rule: Nippon Cataloguing Rules 1987 Revised Edition
• Bibliographic Record Category (NDL): 111

• Summary, etc.: 半導体の製造に不可欠な半導体製造装置の詳細を初心者に分かるように解説した半導体製造装置の入門書です。2019年現在の最新情報を踏まえて改定した最新版解説書です。(Provided by: 出版情報登録センター（JPRO）)
• Author introduction: 佐藤淳一 京都大学大学院工学研究科修士課程修了。 1978年、東京電気化学工業株式会社（現、TDK）に入社。1982年、ソニー株式会社に入社。 一貫して、半導体や薄膜デバイス・プロセスの研究開発に従事。この間、半導体先端テクノロジーズ（セリート）創立時に出向、長崎大学工学部非常勤講師などを経験。(P...

Table of Contents

よくわかる 最新半導体製造装置の基本と仕組み[第3版] CONTENTS

はじめに/ 3

第1章 半導体製造装置を取り巻く現状

1-1 ひとつかみに見た半導体製造装置/ 10

1-2 半導体製造装置の市場規模/ 13