図書

Mechanical properties of silicon based compounds : silicides (Engineering materials)

図書を表すアイコン

Mechanical properties of silicon based compounds : silicides

(Engineering materials)

国立国会図書館請求記号
ND371-D5
国立国会図書館書誌ID
030110187
資料種別
図書
著者
Joshua Pelleg.
出版者
Springer
出版年
[2019]
資料形態
ページ数・大きさ等
xvi, 274 pages ; 24 cm.
NDC
-
すべて見る

資料詳細

要約等:

This book focuses on the mechanical properties of silicides for very large scale integration (VLSI) applications. It presents the fabrication process ...

書店で探す

書誌情報

この資料の詳細や典拠(同じ主題の資料を指すキーワード、著者名)等を確認できます。

資料種別
図書
ISBN
3030225976 hardcover
9783030225971 hardcover
ISSN(シリーズ)
1612-1317
著者・編者
Joshua Pelleg.
シリーズタイトル
タイトル標目
著者標目
出版年月日等
[2019]