Mechanical properties of silicon based compounds : silicides

• 資料種別: 図書
• ISBN: 3030225976 hardcover; 9783030225971 hardcover
• ISSN（シリーズ）: 1612-1317
• タイトル: Mechanical properties of silicon based compounds : silicides
• 著者・編者: Joshua Pelleg.
• シリーズタイトル: Engineering materials
• タイトル標目: Engineering materials.
• 著者標目: Pelleg, Joshua.
• 出版事項: Cham, Switzerland : Springer (出版)
• 出版年月日等: [2019]
• 出版年（W3CDTF）: 2019
• 数量: xvi, 274 pages
• 大きさ: 24 cm.
• 出版地（国名コード）: CH
• 本文の言語コード: eng
• 表現種別: text
• 機器種別: unmediated
• キャリア種別: volume
• 件名標目: Silicides--Mechanical properties.; Silicides.
• LCC: TK7871.15.S54
• DDC: 621.38173
• NDLC: ND371
• 対象利用者: 一般
• 書誌注記: Includes bibliographical references.
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: ND371-D5
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 030110187; http://id.ndl.go.jp/bib/030110187
• OCLC番号: 1101280657; https://www.worldcat.org/oclc/1101280657
• 目録規則: RDA
• 整理区分コード: 211

• 要約等: This book focuses on the mechanical properties of silicides for very large scale integration (VLSI) applications. It presents the fabrication process ...