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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- Pham Ngoc Thao [著]
- 著者標目
- Pham Ngoc Thao ファン ンゴ タオ
- 出版事項
- 出版年月日等
- [2019]
- 出版年(W3CDTF)
- 2019
- 数量
- 1冊
- 並列タイトル等
- エピタキシャルPZT薄膜を用いた高性能圧電マイクロマシンド超音波トランスデューサのプロセス統合 エピタキシャル PZT ハクマク オ モチイタ コウセイノウ アツデン マイクロマシンド チョウオンパ トランスデューサ ノ プロセス トウゴウ
- 授与機関名
- 東北大学