Process integration of high-performance piezoelectric micromachined ultrasonic transducer using epitaxial PZT thin film

• Material Type: 博士論文
• Title: Process integration of high-performance piezoelectric micromachined ultrasonic transducer using epitaxial PZT thin film
• Author/Editor: Pham Ngoc Thao [著]
• Author Heading: Pham Ngoc Thao ファン ンゴ タオ
• Publication, Distribution, etc.: [Pham Ngoc Thao]
• Publication Date: [2019]
• Publication Date (W3CDTF): 2019
• Extent: 1冊
• Alternative Title: エピタキシャルPZT薄膜を用いた高性能圧電マイクロマシンド超音波トランスデューサのプロセス統合 エピタキシャル PZT ハクマク オ モチイタ コウセイノウ アツデン マイクロマシンド チョウオンパ トランスデューサ ノ プロセス トウゴウ
• Degree grantor/type: 東北大学
• Date Granted: 平成31年3月27日
• Date Granted (W3CDTF): 2019
• Dissertation Number: 甲第18649号
• Degree Type: 博士(工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: eng
• NDLC: UT51
• Target Audience: 一般
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2019-A861
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 030516160; http://id.ndl.go.jp/bib/030516160
• Bibliographic Record Category (NDL): 213