3D and circuit integration of MEMS

• 資料種別: 図書
• ISBN: 9783527346479 (hbk.); 9783527823239 (electronic bk. oBook); 3527823239 (electronic bk. oBook); 9783527823253 (ebook); 3527823255 (ebook); 9783527823246 (ePub ebook); 3527823247 (ePub ebook)
• タイトル: 3D and circuit integration of MEMS
• 著者・編者: edited by Masayoshi Esashi
• 著者標目: 江刺, 正喜, 1949- エサシ, マサヨシ, 1949- ( 00154561 )典拠
• 出版事項: Weinheim, Germany : Wiley-VCH (出版)
• 出版年月日等: [2021]
• 出版年（W3CDTF）: 2021
• 数量: xii, 506 pages
• 大きさ: 25 cm
• 出版地（国名コード）: DE
• 本文の言語コード: eng
• 表現種別: text
• 機器種別: unmediated
• キャリア種別: volume
• 件名標目: Microelectromechanical systems; Silicon-on-insulator technology; Integrated circuits; Metal oxide semiconductors, Complementary; Integrated circuits.; Metal oxide semiconductors, Complementary.; Microelectromechanical systems.; Silicon-on-insulator technology.
• LCC: TK7875
• DDC: 621.38152
• NDLC: NB21
• 対象利用者: 一般
• コレクション（個別）: 日本関係外国語図書
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: NB21-D5
• 関連情報（DOI）: 10.1002/9783527823239
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 030747840; http://id.ndl.go.jp/bib/030747840
• 目録規則: RDA
• 整理区分コード: 211

• 内容細目: Front MatterOverview / Masayoshi EsashiBulk Micromachining / Xinxin Li, Heng Yang...