書店で探す
書店で探す
書誌情報
この資料の詳細や典拠（同じ主題の資料を指すキーワード、著者名）等を確認できます。
- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- チッカ ガリウム ウェハ ノ シガイセン エンヨウ コウコウリツ ・ テイダメージ カコウ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 鷹巣良史 [著]
- 著者標目
- 鷹巣, 良史 タカス, ヨシフミ
- 出版年月日等
- [2019]
- 出版年（W3CDTF）
- 2019
- 数量
- 1冊
- 並列タイトル等
- Ultraviolet assisted processing of gallium nitride wafer for high efficiency and low damage
- 授与機関名
- 東北大学