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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- ハンドウタイ シュウセキ カイロ ノ ハイセン コウテイ オ オウヨウ シタ ヨウリョウガタ MEMS ギジュツ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 山﨑宏明 [著]
- 著者標目
- 山崎, 宏明 ヤマザキ, ヒロアキ
- 出版年月日等
- [2019]
- 出版年（W3CDTF）
- 2019
- 数量
- 1冊
- 並列タイトル等
- A study on capacitive MEMS device technologies using interconnect process of semiconductor integrated circuit
- 授与機関名
- 東北大学