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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- ハンドウタイ シュウセキ カイロ ノ ハイセン コウテイ オ オウヨウ シタ ヨウリョウガタ MEMS ギジュツ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 山﨑宏明 [著]
- Author Heading
- 山崎, 宏明 ヤマザキ, ヒロアキ
- Publication Date
- [2019]
- Publication Date (W3CDTF)
- 2019
- Extent
- 1冊
- Alternative Title
- A study on capacitive MEMS device technologies using interconnect process of semiconductor integrated circuit
- Degree grantor/type
- 東北大学