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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- ゲルマニウム ニ オケル ゲンシソウ カコウ ギジュツ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 藤井拓也 [著]
- 著者標目
- 藤井, 拓也 フジイ, タクヤ
- 出版年月日等
- [2020]
- 出版年(W3CDTF)
- 2020
- 数量
- 1冊
- 並列タイトル等
- Atomic layer defect-free etching of Ge
- 授与機関名
- 東北大学
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