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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- シガイコウ ニ ヨル カッセイシュ セイセイブ ト セイマクブ オ ブンリ シタ テイオン シリコン チッカマク ケイセイ ギジュツ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 志波良信 [著]
- 著者標目
- 志波, 良信 シバ, ヨシノブ
- 出版年月日等
- [2020]
- 出版年（W3CDTF）
- 2020
- 数量
- 1冊
- 並列タイトル等
- A study on low-temperature formation technology of silicon nitride films with ultraviolet light based active species generation and separated deposition parts
- 授与機関名
- 東北大学