博士論文

紫外光による活性種生成部と成膜部を分離した低温シリコン窒化膜形成技術に関する研究

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紫外光による活性種生成部と成膜部を分離した低温シリコン窒化膜形成技術に関する研究

Call No. (NDL)
UT51-2020-A267
Bibliographic ID of National Diet Library
031445730
Material type
博士論文
Author
志波良信 [著]
Publisher
-
Publication date
[2020]
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
1冊
Name of awarding university/degree
東北大学,博士(工学)
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博士論文

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Paper

Material Type
博士論文
Title
紫外光による活性種生成部と成膜部を分離した低温シリコン窒化膜形成技術に関する研究
Title Transcription
シガイコウ ニ ヨル カッセイシュ セイセイブ ト セイマクブ オ ブンリ シタ テイオン シリコン チッカマク ケイセイ ギジュツ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
志波良信 [著]
Author Heading
志波, 良信 シバ, ヨシノブ
Publication Date
[2020]
Publication Date (W3CDTF)
2020
Extent
1冊
Alternative Title
A study on low-temperature formation technology of silicon nitride films with ultraviolet light based active species generation and separated deposition parts
Degree grantor/type
東北大学