Silicon sensors and actuators : the Feynman roadmap

• 資料種別: 図書
• ISBN: 3030801349; 9783030801342
• タイトル: Silicon sensors and actuators : the Feynman roadmap
• 著者・編者: Benedetto Vigna, Paolo Ferrari, Flavio Francesco Villa, Ernesto Lasalandra, Sarah Zerbini, editors
• 著者標目: Vigna, Benedetto
• 出版事項: Cham, Switzerland : Springer (出版)
• 出版年月日等: [2022]
• 出版年（W3CDTF）: 2022
• 数量: xiii, 997 pages
• 形態の詳細: illustrations (some color)
• 大きさ: 25 cm
• 出版地（国名コード）: CH
• 本文の言語コード: eng
• 表現種別: text
• 機器種別: unmediated
• キャリア種別: volume
• 件名標目: Silicon diodes; Actuators
• LCC: TK7871.86
• NDLC: ND416
• 対象利用者: 一般
• 書誌注記: Includes bibliographical references and index
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: ND416-D40
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 031666382; http://id.ndl.go.jp/bib/031666382
• OCLC番号: 1253473830; https://www.worldcat.org/oclc/1253473830
• 目録規則: RDA
• 整理区分コード: 211

• 内容細目: Part I: Silicon as sensor material. Silicon properties and crystal growth / Flavio Francesco VillaPart II: MEMS processes. Epitaxy / Roberto Campedell...
• 要約等: "This book thoroughly reviews the present knowledge on silicon micromechanical transducers and addresses emerging and future technology challenges. Re...