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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- 4H-SiC/SiO₂ ネツ サンカ カイメン コウゾウ ノ リカイ ト ソノ プロセス セイギョ ニ ヨル MOSFET コウセイノウカ ノ ケンキュウ
- 著者・編者
- 平井悠久 [著]
- 著者標目
- 平井, 悠久 ヒライ, ヒロヒサ
- 出版年月日等
- [2018]
- 出版年（W3CDTF）
- 2018
- 数量
- 1冊
- 授与機関名
- 東京大学
- 授与年月日
- 平成30年3月22日