フォトレジストの最先端技術 (エレクトロニクスシリーズ)
フォトレジストの最先端技術 = Leading edge technologies of photoresist
(エレクトロニクスシリーズ)
- 国立国会図書館請求記号
- PA441-M131
- 国立国会図書館書誌ID
- 032396046
資料詳細
要約等：
- IoTや5Gの社会実装に伴い研究が進むフォトレジストとリソグラフィ技術をまとめた一冊。ロードマップや材料開発，EUVレジストなどの先端技術，解析・評価，塗布・露光・現像・光源装置に関する情報を網羅。（提供元: 出版情報登録センター（JPRO））
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目次
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【第Ⅰ編 ロードマップとリソグラフィ・フォトレジストの基礎】
第1章 半導体ロードマップと今後の展開
1 緒言/ 2
2 半導体デバイスのトレンドと課題/ 4
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紙- 請求記号：
- 578.4-5431-2022
- 図書登録番号：
- 7116059087
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- 資料種別
- 図書
- ISBN
- 978-4-7813-1679-6
- タイトル
- タイトルよみ
- フォトレジスト ノ サイセンタン ギジュツ
- 著者・編者
- 遠藤政孝 監修
- シリーズタイトル
- 出版年月日等
- 2022.9
- 出版年（W3CDTF）
- 2022